天眼查App顯示,深圳市集銀科技有限公司于2024年4月9日申請的一項實用新型專利“一種真空管路系統”已獲得授權,專利號為CN202420724491.3。該專利由梁富、徐燦、賈偉和李波共同發明,涉及真空技術領域。
該真空管路系統包括至少兩個真空泵、抽真空管路和腔體。每個抽真空管路通過真空閥與對應的腔體連通,并與相鄰的抽真空管路連通。每個真空泵與對應的抽真空管路連通。這一設計實現了至少兩個真空泵同時控制至少兩個腔體,克服了傳統一腔一泵模式無法保證腔體真空度的問題。
通過不同的真空泵交叉作業,該系統能夠充分利用真空泵的工作能力,避免了等待時間,從而避免了資源的浪費。這一創新設計在提高真空系統效率方面具有重要意義,預計將在相關行業中得到廣泛應用。
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