天眼查App顯示，近日，中芯國際集成電路制造（北京）有限公司與中芯國際集成電路制造（上海）有限公司聯合申請了一項名為“半導體設備的故障預警方法”的發明專利。該專利于2023年6月30日公布，專利號為CN202310798500.3。
該方法通過提供若干組歷史設備運行數據，包括設備運行環境參數和半導體設備是否發生故障的信息，將這些數據輸入至神經網絡模型中進行訓練和測試。當神經網絡模型的測試準確率達到預設閾值后，即可用于預測待檢測設備的運行環境參數，從而判斷半導體設備是否會發生故障。
通過這一方法，企業可以提前進行設備檢修或調整運行參數，降低設備故障的風險，保證設備的運行時間，進而提高生產效率。該技術的發明人包括周毅仲、歐陽丁杰、戴吟潔、孫俊麗和白雪。
這一創新技術的推出，標志著中芯國際在半導體設備維護領域的進一步突破，有望為半導體制造行業帶來更高的生產效率和更低的維護成本。
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