天眼查App顯示，華海清科股份有限公司于2024年10月31日公開了一項名為“用于晶圓加工的承載頭、化學機械拋光設備”的發明專利，專利號為CN202411538286.9。該專利由路新春、王宇和張洪蛟共同發明，旨在解決傳統晶圓拋光設備中彈性膜易變形的問題。
該承載頭包括主體部、第一彈性膜和第二彈性膜。第一彈性膜與主體部的朝向晶圓的表面連接，并與主體部之間限定出中心腔體和多個環形腔體。中心腔體與多個環形腔體均與第一通氣管路連通，使第一彈性膜能夠吸附和松脫晶圓。多個環形腔體中的至少一個朝向晶圓的表面設有多個氣孔，第二彈性膜位于具有多個氣孔的環形腔體內，能夠膨脹和收縮以封堵和敞開氣孔。
該設計的關鍵在于，當第二彈性膜膨脹時，其與環形腔體的內壁無接觸，從而避免了第二彈性膜充氣膨脹與第一彈性膜接觸，導致第一彈性膜發生變形。這一創新設計不僅提高了晶圓拋光的精度，還顯著提升了設備的穩定性和使用壽命。
華海清科股份有限公司位于天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號，專注于半導體設備的研發與制造。此次公開的專利技術預計將廣泛應用于晶圓制造領域，為半導體行業帶來新的技術突破。
風險警告：本文根據網絡內容由AI生成，內容僅供參考，不應作為專業建議或決策依據。用戶應自行判斷和驗證信息的準確性和可靠性，本站不承擔可能產生的任何風險和責任。內容如有問題，可聯系本站刪除。
