天眼查App顯示,海光信息技術股份有限公司于2024年9月25日公開了一項重要的發明專利,專利號為CN202411345421.8,名稱為“基片通孔的制作方法、中介層的制作方法、封裝結構的制作方法及封裝方法”。該專利由方英舉發明,涉及集成電路技術領域,旨在通過創新的工藝步驟,降低對工藝均勻性的要求,從而大幅提升加工良率。
根據專利摘要,該技術首先在襯底的第一表面形成至少兩個第一孔洞,每個孔洞的底部和側壁均覆蓋有第一絕緣層和第一金屬層。隨后,通過研磨減薄襯底的第二表面,使第一孔洞從第二表面露出。接著,在第二表面設置第二絕緣層,并通過刻蝕工藝使第一孔洞從第二絕緣層中露出,最終形成基片通孔。
這一技術的應用有望在集成電路制造中帶來顯著的效率提升,尤其是在高精度、高復雜度的封裝結構中,能夠有效減少工藝缺陷,提高產品的可靠性和性能。海光信息技術股份有限公司表示,該專利的公開標志著公司在集成電路技術領域的又一重要突破,未來將進一步推動相關技術的產業化應用。
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