天眼查App顯示，上海新陽半導體材料股份有限公司于2023年6月30日公開了一項名為“一種清洗液”的發明專利，專利號為CN202310795357.2。該清洗液的原料包括氧化劑、胺類有機物、氟化物、緩蝕劑、螯合劑、表面活性劑以及水，各組分質量分數之和為100%。
該清洗液具有多項優點，包括較佳的穩定性、對蝕刻后殘余物的清洗效果、選擇性移除TiN硬掩模的能力，以及抑制銅或銅合金及鈷或鈷合金損傷的特性。這些特性使得該清洗液在半導體制造過程中具有廣泛的應用前景。
上海新陽半導體材料股份有限公司位于上海市松江區思賢路3600號，是一家專注于半導體材料研發和生產的企業。此次公開的專利進一步展示了該公司在半導體材料領域的技術實力和創新能力。
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