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浙江企業推出新型硅片檢測技術,提升半導體制造效率

天眼查App顯示,近日,浙江求是半導體設備有限公司與浙江晶盛機電股份有限公司聯合研發的“圖像采集裝置、硅片檢測設備和硅片檢測方法”獲得國家發明專利授權。該技術通過創新的圖像采集裝置設計,能夠在保證圖像像素精度的同時,大幅提升硅片檢測的效率。

據悉,該圖像采集裝置包括機架和至少一個線掃檢測單元。硅片輸送線沿硅片組的運輸方向貫穿機架,線掃檢測單元的鏡頭拍攝方向平行于硅片組的運輸平面,能夠沿豎直方向采集硅片組的邊沿圖像。這一設計不僅簡化了檢測流程,還提高了缺陷檢測的準確性。

該技術的應用將有助于半導體制造企業提高生產效率,降低生產成本。浙江求是半導體設備有限公司表示,未來將繼續加大研發投入,推動半導體檢測技術的進一步發展。

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