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江蘇亨芯石英科技與亨通光電聯合研發新型掩膜板坯沉積技術

天眼查App顯示,近日,江蘇亨芯石英科技有限公司與江蘇亨通光電股份有限公司聯合研發的“一種大尺寸方形掩膜板坯的沉積裝置及方法”獲得發明專利,專利號為CN202411427244.8。該技術于2024年12月31日正式公布,標志著兩家公司在掩膜板坯制造領域取得了重要突破。

該發明通過反應室、模具池、模具托等核心組件,結合生產燃燒器和均熱燃燒器的協同作用,實現了大尺寸方形掩膜板坯的一步沉積。與傳統工藝相比,該技術簡化了產品制備工序,減少了材料損耗,顯著降低了生產成本。

據專利摘要介紹,該裝置通過運動系統驅動模具池沿水平方向往復移動,確保掩膜板坯的均勻沉積和高溫軟化攤平。這一創新不僅提高了生產效率,還為掩膜板坯的后續加工提供了更高的精度和一致性。

江蘇亨芯石英科技有限公司和江蘇亨通光電股份有限公司表示,該技術的成功研發將進一步推動掩膜板坯制造行業的技術進步,為相關領域的高質量發展提供有力支持。

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