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佳能將于2023年上半年發售3D半導體光刻機

2022-04-01 13:31:45

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據報道，佳能正在開發用于半導體3D技術的光刻機。在尖端半導體領域，3D技術可以通過堆疊多個芯片來提高半導體的性能。佳能新的光刻機產品最早將于2023年上半年上市。曝光面積擴大至現有產品的約4倍，可支持AI使用的大型半導體生產。

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